微電子技術的發展在一方面使集成電路向減小加工尺寸、增大集成度發展,另一方面使平面集成向三維加工方向發展。九十年代出現了MEMS這種全新的設計理念,它是體積微型化、機電一體結合、用微電子方法代替傳統機械方法進行機械加工的新器件。微機電傳感技術的興起和發展標志著傳感技術從單一的物性型傳感器進入微機電系統(MEMS)技術為主導技術的階段。追溯MEMS技術發展的過程,微機電傳感器是MEMS技術實用化和產業化的先導產品和主流產品,對MEMS其它相關技術的發展起到推動和引導作用。微機電傳感技術是關于微機電傳感器的設計、制造、測試和應用的綜合技術,對傳統的傳感技術進行革命性的創新和改革,從直接可視、簡單結構和過程,到微觀組合結構和過程的變化潛在著許多高的和應用機遇。
車輛行駛的 性和燃油經濟性與輪胎的充氣壓力密切相關。充氣壓力過高或過低都將降低車輛性能,縮短輪胎使用壽命,并對環境產生不利影響。據統計, 每年有26萬例交通事故是由于輪胎氣壓低或滲漏造成的,占交通事故的75%。而中國高速公路上交通事故的70%是由于爆胎引起的。輪胎質量專家認為,“保持標準的車胎氣壓行駛和及時發現車胎漏氣是防止爆胎的關鍵。”2002年NHTSA的聯邦法案,規定 汽車從2003~2006年,每年分別以15%、35%、65%、100%的比例裝配TPMS系統,這將掀起汽車壓力傳感器應用的高潮。輪胎壓力檢測系統即TPMS(TirePressureMonitoringSystem)是在每一個車胎中
安裝上胎壓監測傳感器和射頻發射器,通過射頻技術與安裝在汽車儀表盤上的接受器及顯示器相配合,實時檢測輪胎氣壓,并可實現在氣壓異常時及時向駕駛員報警的裝置。使駕駛員可以隨時掌握輪胎的壓力情況,控制車輛以 佳的狀態工作,減少和預防由于輪胎原因而引起的交通事故的發生,提高車輛的行駛性能和 性。汽車輪胎工作于 的環境條件下,決定了對胎壓實時監測的壓力傳感器的,要求寬溫區(-40℃~+150℃),寬電源電壓范圍內較高的實用總精度,性好,反應快,低功耗,無線信號傳輸,抗干擾,,耐惡劣環境和低成本,只有滿足這樣的要求才能準確地將汽車運行上的有關量值進行實時檢測,將它們轉換成電信號供給 控制器。基于MEMS技術的傳感器芯片以其尺寸小、不改變壓力場狀態、動態頻響高,具有可以獲得 準確仿真的測試結果的特性,可以實現在汽車輪胎上的應用,是較理想的器件。微電子機械系統(MEMS)技術已經成為傳感器發展的核心技術,且發展 為。采用這種技術設計與制造的傳感器產品以其優越的性能和 的性價比取代了傳統的傳感器產品,也必將在汽車工業中很好的應用。
由于汽車傳感器在汽車電子控制系統中的重要作用和增長的市場需求,世界各國對其理論研究、新材料應用和新產品都都非常重視。未來的汽車用傳感器技術,總的發展趨勢是多功能化、集成化、智能化。多功能化是指一個傳感器能檢測2個或者2個以上的特性參數或者化學參數。集成化是指利用IC制造技術和加工技術制作IC式傳感器。智能化是指傳感器與大規模集成電路相結合,帶有MPU,具有智能作用。的汽車用傳感器具有如下特點:數字化信號輸出、線性化微處理器補償、傳感器信號共用和加工、傳感器間接測量、復合傳感器信號處理、IC化和加工等。