對于氣敏傳感器來說，最 重要的是制備過程，而制備過程又可分為氣敏元件的制備和氣敏材料的制備，由于目前的生產和生活中使用最 多的是半導體氣敏傳感器，所以本篇文章主要介紹半導體式氣敏傳感器的制備工藝。

　　1、氣敏元件制備方法

　　氣敏元件是氣敏傳感器的核心，所以氣敏元件的制備尤為重要，主要是其材料的選用。氣敏元件的制備方法主要有燒結法、薄膜法和厚膜法。

　　燒結法主要應用于SnO2型氣敏傳感器的氣敏元件制備，是指將氣敏傳感器配件的電極和加熱器埋在金屬氧化物中，然后利用高溫加熱直至成型，最 后再借助低溫來燒結。燒結法所用的高溫一般為200~300℃。

　　薄膜法是用來制備ZnO氣敏元件，采用真空鍍膜工藝或濺射工藝，在石英或者陶瓷基片上制成金屬氧化物薄膜，這便構成了薄膜型氣敏元件。

　　厚膜法是指將氣敏材料與硅凝膠混合制成厚膜膠，然后在高溫下燒結，制成厚膜型氣敏元件，厚膜法所用的溫度一般為400~800℃，此方法可進行批量生產。

　　2、氣敏材料制備方法

　　氣敏材料制備需要考慮多種因素，比如制備的成本、材料的純度和操作的難易程度等。氣敏材料的制備方法主要有：物相沉積法、化學氣相沉積法和凝膠-溶膠法等。

　　物相沉積法又稱為熱蒸發法。使用該種方法制成的氣敏材料純度較高，但是此種方法對操作和使用的設備要求較高。熱蒸發法利用真空蒸發、激光等方法將原料制成等離子體，然后在的介質中使其凝結成為所需要的氣敏材料。

　　化學氣相沉積法是利用兩種或兩種以上的氣體原料進行的化學反應，之后通過冷凝形成納米粒子。此方法主要用來制備半導體氣敏傳感器的氣敏材料，制備的過程易于控制和操作且的材料純度較高，但是的氣敏材料的粒子尺寸較大。

　　凝膠-溶膠法廣泛使用于制備氣敏性金屬氧化物薄膜。此種方法的操作簡便、的氣敏材料粒子活性較高、材料的純度也很高，但是制備過程中的pH值和膠凝的速度會影響到材料的制備。凝膠一溶膠法是將原料分散在溶液中并經過水解形成活性單體，活性單體聚合成為溶膠然后生成凝膠，最 后經過處理等到納米粒子。

　　氣敏傳感器產業正向著規模化、專 業化和自動化方向發展，由于近些年來經濟的發展，氣敏傳感器也成為了一種的重要產品，新型氣敏材料了深入的，氣敏傳感器技術也取得了較大進步，應用的也越來越廣泛，在工業方面和民用方面都了充分的應用和發展。在工業方面主要體現在氧氣傳感器、毒性氣體傳感器等，在居民日常生活方面，主要應用于監控氣體的泄露，防止火災的發生以及檢測酒精的濃度，降低發生交通事{l改的幾率等。

　　當今全世界正面臨著嚴峻的環境問題，環保被擺在位置，氣敏傳感器要想的發展，就向低功耗、低成本、多功能的方向發展。具體應從以下三個方面著手：①提高其反應的靈敏程度和其工作性能、降低消耗，減少氣敏材料制備過程的能耗；②要減少成本、簡化操作過程、縮小氣敏傳感器的體積，使其方便的被人們所使用；③要把氣敏傳感器向多功能發展，發現其的用途，使氣敏傳感器的使用范圍較現在跟為廣泛。

　　除此之外，氣敏傳感器發展還應該注重市場的走向，以國民經濟現代化需求和人民生命財產服務為目標，大力新型氣敏元件傳感器，生產專 業的氣敏元件傳感器，做好宣傳工作，廣泛使用氣敏傳感器，發展和完善氣敏元件傳感器、變送器、警報器和應用裝置系統等氣敏綜合應用技術，組建有競爭力的企業集團，有自己知識產權的產品，推動我國氣敏技術跨上一個新臺階。在具備條件的企業或企業集團建立技術中心，配備手段；產品工藝方面，解決厚膜、電化學和集成工藝技術，主要產品質量達到世界同期水平，具有知識產權的新產品如常溫低功耗(電池供電)氣敏傳感器，新型環境氣敏傳感器等。