傳感器的發展, 以的技術為支撐,提高傳感器的綜合性能。傳感器的發展 攻克的關鍵技術有:
a)傳感器制造關鍵工藝
現代傳感器體積小、重量輕和能源消耗小的特點,要求在現制造中應廣泛使用MEMS微機電工藝等技術來達到目的。MEMS微機電工藝技術類似集成電路制作上藝技術,主要包括硅的各向異性刻蝕技術、硅/硅鍵和技術、表面微機械加工技術和LIGA技術等。
b)傳感器的信號傳輸技術
現代戰爭是在復雜地磁環境下的戰爭,敵我雙方將廣泛開展電子對抗和反對抗,基本覆蓋電磁波全波段。復雜地磁環境將對傳感器產生的微弱信號產生強烈干擾。、地將傳感器監測到的信號準確傳輸至指揮控制系統將是至關重要的技術。
c)多傳感器信息融合技術
現代戰爭中將運用多種偵察手段以及反偵察手段,敵我雙方都會對重要目標進行隱蔽,對重要和相關信息隱真示假。各種偵察傳感器傳回的信息將包含大量虛假信息,有一些甚至是相反信息, 運用多傳感器信息融合技術才可能將正確信息識別出來。
d)網絡傳感器技術
目前,網絡傳感器主要解決的關鍵技術包括傳感器的能源使用和管理技術、傳感器的組網和信息傳輸技術等。