MEMS(Microelectro Mechanical Systems)微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的，涉及電子、機械、材料、物理、化學、生物和醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。利用MEMS加工制備的新一代傳感器件，在傳輸前可進行信號的放大，減少干擾和傳輸噪聲，提高信噪比。同時，芯片上集成有反饋線路和補償線路，可地輸出的線性度和頻響特性。MEMS傳感器有微機械加速度傳感器、微機械角速度傳感器、微型壓力傳感器、微型磁傳感器、微型光傳感器、微型熱傳感器、微型氣敏傳感器、微型化學傳感器、微型生物傳感器和微型電場傳感器等。
MEMS傳感器目前主要應用在汽車行業和電子產品中。如MEMS壓力傳感器在汽車電子控制系統中可用于測量進氣歧管壓力、油壓和輪胎氣壓等。特別值得一提的是測量燃油噴射的MEMS壓力傳感器，其長期與液體燃料接觸，承受較高的壓力，在這種苛刻的環境中表現出了較好的適應性和性。蘋果公司的iphone4是使用陀螺儀的手機，并使用聲波傳感器(麥克風)聲音質量，達到降噪的目的。
MEMS傳感器在農業中的應用主要集中在制造超光譜成像系統上，利用超光譜成像技術可以隨時觀測貨架上食物的霉變情況，也可用來鑒定商品商標的真偽。光子學和MEMS的機構Infotonics與 康奈爾大學合作，研制了一種基于電容率的傳感器，可以實時監視并固定牛奶中的病原體，如發生固化，病原體附著在傳感器陣列的分子探針上，引起電容發生變化，用其和參考傳感器的電容作對比，則可證明病原體的存在。這在檢查奶牛乳腺炎的過程中發揮了積極的作用，可以較早發現病癥，減少奶農損失。
