光柵即在一條氏方形光學玻璃片上均勻地刻上許多與運動方向垂直的線條,線條間距要根據測試精度決定。在玻璃(或金屬)上進行刻劃,可一系列密集刻線,這種具有周期性的刻線分布的光學元件稱為光柵。
光柵式傳感器有如下特點:
①。光柵式傳感器在大量程測量Ls度或直線位移方向僅僅低于激光干涉傳感器。在圓分度和角位移連續測量方向,光柵式傳感器屬于精度 高的。
②大量程測量兼有高分辨力。感應同步器和磁柵式傳感器也具有大量程測量的特點,但分辨力和精度都不如光柵式傳感器。
③可實現動態測量,易于實現測量及數據處理的自動化。
④具有較強的抗干擾能力,對環境條件的要求不像激光干涉傳感器那樣嚴格,主要適用于在實驗室和環境較好的車間使用。
光柵式傳感器在幾何量測量中有著)、泛的應用。與氏度(或直線位移)和角度(或角位移)測量有關的儀器都經常使用光柵式傳感器。此外,在測量振動、速度、應力、應變等機械量測量中也有應用。